Verfahrensauswahl nach der Beanspruchungstiefe
Tiefenwirkung
Verfahren
Erklärung zu den gewählten Verfahrensbeispielen:
Ionenimplantieren
(Diffusionsbehandlung)
PVD (Physikalische Abscheidung aus der Gasphase)
CVD (Chemische Abscheidung aus der Gasphase)
Nitrieren
PVD (Physikalische Abscheidung aus der Gasphase)
CVD (Chemische Abscheidung aus der Gasphase)
Nitrieren
Aus der obigen Übersicht wird leicht verständlich, daß allein bedingt durch die Schichtdicken PVD, CVD oder andere Dünnschichtverfahren nicht genutzt werden können, um z.B. einer Randschichtermüdung mit großer Eindringtiefe wirkungsvoll entgegen zu wirken. Unabhängig von der Eindringtiefe der Verfahren müssen natürlich die verfahrensspezifischen Eigenschaftsänderungen mit berücksichtigt werden.
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